由于現(xiàn)代的潔凈室要求非常嚴(yán)格,為了降低發(fā)生不合格的現(xiàn)象,一般在半導(dǎo)體設(shè)備上使用有特殊材料制作成的拖鏈電線,后面也被人們稱為潔凈室無塵拖鏈電線。
潔凈室無塵拖鏈電線具有改性的聚苯醚熱塑性絕緣而不是標(biāo)準(zhǔn)PVC的電纜具有約90%的脫氣。這使得它們比傳統(tǒng)使用的氟聚合物成本更低,更適合于潔凈室。不僅考慮到硅晶片蝕刻設(shè)備的獨(dú)特清潔度要求,還有機(jī)器經(jīng)常需以高速經(jīng)常進(jìn)行多次重復(fù)運(yùn)動(dòng)。因此必須使用能夠經(jīng)受快速和反復(fù)彎曲和移動(dòng)的電線。而潔凈室無塵拖鏈電線可承受額定超過100萬彎曲。因?yàn)槠渌娋€需要足夠小以適合存在于許多半導(dǎo)體制造機(jī)器中的緊密位置。減少除氣的相同mPPE絕緣具有次要的優(yōu)點(diǎn),也比使用傳統(tǒng)絕緣制成的線更緊密。雖然規(guī)格因電纜而異,但一些mPPE護(hù)套電線可比同類PVC絕緣電纜小47%,輕65%。